ふっ素樹脂配管部品
フロロコネクター
詳細
半導体製造用ガス配管の継手として長年のキャリアを持つ弊社が、気密性、使いやすさ、耐久性、経時変化などあらゆる角度から改良を重ね、広く信頼を得ている継手です。
ご希望サイズに応じた継手、その他の樹脂製品の加工および配管チューブも承っておりますので、お気軽にご相談ください。
テックユニオン
(薄肉チューブ、フレキシブルチューブ用)
~特徴~
本体と一体構造のパイプ状の凸部へチューブを差し込み、上からクサビで締め付ける事により、チューブがつぶれず、パイプの内側と外側から二重にシールされます。
~材質~
・本体:PTFE、クサビ:PTFE、ナット:PTFE, PFA
~主な型式~
・SD(Straight Union:ストレートユニオン)
・LD(Union Elbow:ユニオンエルボウ)
・TD(Union Tee:ユニオンティ)
同径継手
(厚肉チューブ、石英パイプ、ステンレスパイプ用)
~特徴~
本体は共通で、2種類のシール(Oリングまたはクサビ)を使い分けてご使用いただけます。
(Oリングシールは「R」、クサビシールは「C」を型式に付加)
~材質~
・本体:PTFE、クサビ:PTFE、ナット:PTFE, PFA
~主な型式~
・S(Straight Union:ストレートユニオン)
・L(Union Elbow:ユニオンエルボウ)
・T(Union Tee:ユニオンティ)
異径継手
(厚肉チューブ、石英パイプ、ステンレスパイプ用)
~特徴~
左右径の異なるチューブや、パネル取付用継手です。
本体は共通で、2種類のシール(Oリングまたはクサビ)を使い分けてご使用いただけます。
(Oリングシールは「R」、クサビシールは「C」を型式に付加)
~材質~
・本体:PTFE、クサビ:PTFE、ナット:PTFE, PFA
~主な型式~
・RU-S(Straight Reducing Union:異径ストレートユニオン)
・RU-L(Union Elbow:異径ユニオンエルボウ)
・RU-T(Union Tee:異径ユニオンティ)
連通管継手
~特徴~
パネル取付用継手です。パネル厚みに差がある場合はご指示下さい。
本体は共通で、2種類のシール(Oリングまたはクサビ)を使い分けてご使用いただけます。
(Oリングシールは「R」、クサビシールは「C」を型式に付加)
~材質~
・本体:PTFE、クサビ:PTFE、ナット:PTFE, PFA
~主な型式~
・BU(Bulkhead Union:バルクヘッドユニオン)
メールコネクター
~特徴~
ネジ込みタイプの継手です。ネジ部はミリ(PT)、インチ(NPT)とも可能です。
本体は共通で、2種類のシール(Oリングまたはクサビ)を使い分けてご使用いただけます。
(Oリングシールは「R」、クサビシールは「C」を型式に付加)
~材質~
・本体:PTFE、クサビ:PTFE、ナット:PTFE, PFA
~主な型式~
・MT(Male Taper:メールテーパーオスねじ)
・MS(Male Straight:メールストレートオスねじ)
・MR(Male Oring:フィルターケース、流量計継手用)
ペンケム®CT
詳細
ペンケム®CT
優れた特性を持つふっ素樹脂製のフレキシブルチューブです。
~特長~
・最高150℃まで使用可能
・ふっ素樹脂PFA製
・耐薬品性やストレスクラック性に優れる
・化学的に不活性のため、流体を汚しにくい
・透明に近く、チューブ内の流体が見やすい
・波形部はアニュアル(独立山)状
・伸縮性に優れる(波形部は約50%縮める、約140%伸せる)
・曲げ半径が小さく、内径がほとんど変化しない
・配管の自由度に優れる
・真空下で使用可能(0.133Pa(10-3Torr))
~主な用途~
・半導体製造装置(コータ・デベロッパ、CMP、洗浄機等)
・液晶製造装置
・合成石英製造装置(光ファイバー素材、マスク、反応槽等)
・MA機器
・計測機器
・理化学機器
~主な使い方~
・省スペースな機器内配管
・純水・薬液配管
・ドレン
・ガス配管
・熱交換器
・振動部及び可動部の配管
・ハンドシャワー
・二重配管
・コンジット管
ペンケム®TX
詳細
ペンケム®TX
CTチューブより高温で使用可能なふっ素樹脂製のフレキシブルチューブです。
~特長~
・最高260℃まで使用可能
・ふっ素樹脂TFE製
・波形部は液溜りが少ない螺旋状
・化学的に不活性のため、流体を汚しにくい
・長尺品も対応可能
・波形部加工により目的に応じた長さが作れる
~主な用途~
・半導体製造装置(コータ・デベロッパ、CMP、洗浄機等)
・液晶製造装置
・合成石英製造装置(光ファイバー素材、マスク、反応槽等)
・MA機器
・計測機器
・理化学機器
~主な使い方~
・省スペースな機器内配管
・純水・薬液配管
・ドレン
・ガス配管
・熱交換器
・振動部及び可動部の配管
・ハンドシャワー
・二重配管
・コンジット管
~ご注意~
・図、表の数値は参考値です。
・当サイトの規格は参考例となります。ご要望により多種お受け致します。
・品質改良のため、無断にて仕様を変更する場合がありますのでご了承ください。
・ペンケム®はペンニットー株式会社が販売するふっ素樹脂波形チューブの登録商標です。