株式会社ハルナ ペンケム®CT

ペンケム®CT

ペンケム®CT

特長

  • 最高150℃まで使用できます。
  • ふっ素樹脂PFA製により、耐薬品性やストレスクラック性に優れております。
  • 化学的に不活性のため、流体を汚しにくくなります。
  • 透明に近く、チューブ内の流体が見えます。
  • 波形部はアニュアル(独立山)状です。
  • 波形部の長さを約50%に縮めたり、約140%まで伸ばせます。
  • 曲げ半径が小さく、曲げても内径がほとんど変化しません。
  • 配管の自由度に優れています。
  • 0.133Pa(10-3Torr)の真空下で使用できます。

主な用途

  • ■半導体製造装置
    • コータ・デベロッパ
    • CMP
    • 洗浄機
    • エッチング装置
  • ■液晶製造装置
  • ■合成石英製造装置
    • 光ファイバー素材
    • ヒータ管
    • マスク
    • 反応槽
    • るつぼ
  • ■MA機器
  • ■計測機器
  • ■理化学機器

主な使い方

  • ■省スペースな機器内配管
  • ■純粋・薬液配管
  • ■ドレン
  • ■ガス配管
  • ■熱交換器
  • ■振動部及び可動部の配管
  • ■ハンドシャワー
  • ■二重配管
  • ■コンジット管

規格

ペンケムCT規格図

ペンケムCT仕様

参考

※表の数値は、標準値を示しています。
※ペンケム®はペンニットー株式会社が販売するふっ素樹脂波形チューブの登録商標です。